-11

-12

-13

-14

-21

-22

-23

-24

量測範圍

Z軸（縱方向）

粗度：800um,l輪廓：50mm

X軸（橫方向）

100mm

200mm

精度

粗度檢出器

檢出器測量解析度

0.01μm/800μm～0.0004μm/25μm（0.0001μm/6.4μm測量範圍）

輪廓用檢出器

Z軸指示精度

±（0.8+︱4H︱/100）μm H:測量長度

測量解析度

0.025μm/全刻度

驅動部粗度

X軸測量解析度

0.04μm 或者 32,000點（數據取入數3000，000點）

驅動部輪廓

X軸指示精度

±（1+2L/100）μm

測量解析度

0.1μm

 真直度精度

粗度：(0.05+1.5L/1000)μm   輪廓：1μm/100mm、2μm/200mm

感應方式

X軸（橫方向）

Moire光柵尺

線型尺

Z軸

粗度

差動變壓器

輪廓

雷射光學尺

速度

立柱上下速度(Z軸)

-

10mm/s(3mm/s)*2

-

10mm/s(3mm/s)*2

測量速度(X軸)

測量速度：0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速)

檢出器

粗度

測針、測量力

交換式、0.75mN

測針半徑、材質

2μmR,（60°圓錐金剛石）1支標準付屬品

輪廓

測針、測量力

交換式、10～30mN

測針半徑、材質

25μmR,（24°圓錐超硬.）2支標準付屬品

測量方向、方式

拉、壓方向、上下方向

移動范圍

驅動部行程

100mm

200mm

立柱上下移動行程

250mm

450mm

250mm

450mm

平臺

尺寸

600×317mm

1000×450mm

600×317mm

1000×450mm

容許載重量

41kg

35kg

26kg

41kg

35kg

29kg

20kg

35kg

其它

設置尺寸

橫

2000mm

2300mm

2000mm

2300mm

深

1000mm

1000mm

高

1700mm

1900mm

1700mm

1900mm

質量

120kg

125kg

135kg

240kg

125kg

130kg

140kg

245kg

電源、消耗電力

單相AC100V±10％(要接地)﹑50/60Hz / 710VA